応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18a-Z15-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

Mgイオン注入後の空孔ガイド拡散法により形成したp型GaNのルミネッセンス評価
*嶋 紘平, 田中 亮, 高島 信也, 上野 勝典, 江戸 雅晴, 小島 一信, 上殿 明良, 秩父 重英
著者情報
キーワード: 18a-Z15-4, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 窒化ガリウム, Mgイオン注入, ルミネッセンス
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