応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18a-Z15-6
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GaNへのMgイオン注入におけるリコイルN原子の影響
*ハーバート 甲斐柴田 和樹アスバル ジョエル葛原 正明
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