低温バッファ層上高温AlN初期成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z27-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2618

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

低温バッファ層上高温AlN初期成長

*青野零弥, 津田翔太, 揚田侑哉, 宮川拓己, 平山秀樹, 高島祐介, 直井美貴, 永松謙太郎

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キーワード: 19a-Z27-1, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, MOVPE, AlN, 初期成長

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