極小ピットを介したAlNテンプレートの高品質化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z27-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2619

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

極小ピットを介したAlNテンプレートの高品質化

*奥野椋, 日高遼太, 斉藤貴大, 岡田成仁, 前田哲利, 定昌史, 平山秀樹, 倉井聡, 山田陽一, 只友一行

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キーワード: 19a-Z27-2, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, AlN, MOVPE

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