応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-Z27-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

陽電子消滅によるスパッタ堆積AlN薄膜中の空孔型欠陥検出
*上殿 明良, 正直 花奈子, 上杉 謙次郎, 秩父 重英, 石橋 章司, Dickmann M., Egger W., Hugenschmidt C., 三宅 秀人
著者情報
キーワード: 19a-Z27-6, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, AlN, 欠陥, 陽電子消滅
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