GeO<sub>2</sub>下部層による固相成長Ge薄膜の移動度向上機構

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-Z33-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2651

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

GeO₂下部層による固相成長Ge薄膜の移動度向上機構

*今城利文, 末益崇, 都甲薫

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キーワード: 17a-Z33-7, 結晶工学, IV族結晶，IV-IV族混晶, 結晶成長, Ge, 固相成長, 薄膜

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