Si(001)基板上におけるSi<sub>1−<i>x</i></sub>Sn<i><sub>x</sub></i>薄膜のエピタキシャル成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-Z33-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2656

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

Si(001)基板上におけるSi_1−xSn_x薄膜のエピタキシャル成長

*黒澤昌志, 丹下龍志, 中塚理

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キーワード: 17p-Z33-4, 結晶工学, IV族結晶，IV-IV族混晶, SiGeSn (GeSn), シリコンスズ, SiSn

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