X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-Z33-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2657

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価

*吉岡和俊, 小原田賢聖, 小笠原凱, 廣沢一郎, 渡辺剛, 横川凌, 小椋厚志

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キーワード: 17p-Z33-5, 結晶工学, IV族結晶，IV-IV族混晶, 歪み制御, カーボンドープシリコン, 逆格子空間マッピング, 歪緩和

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