放射光セクショントポグラフィによる貫通転位挙動の観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-Z28-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2664

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

放射光セクショントポグラフィによる貫通転位挙動の観察

*鎌田功穂, 星乃紀博, 別役潔, 神田貴裕, 土田秀一

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キーワード: 17a-Z28-4, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 物性評価, 4H-SiC, 転位, トポグラフィ

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