4H-SiC結晶における貫通刃状転位間の相互作用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-Z28-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2663

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

4H-SiC結晶における貫通刃状転位間の相互作用

*別役潔, 星乃紀博, 鎌田功穂, 神田貴裕, 土田秀一

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キーワード: 17a-Z28-3, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 物性評価, 転位, SiC, 結晶成長

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