シリコンウェーハ中炭素関連結晶欠陥のパワーデバイス特性への影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z29-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2704

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

シリコンウェーハ中炭素関連結晶欠陥のパワーデバイス特性への影響

*佐々木駿, 三次伯知, 佐俣秀一, 附田正則, 大村一郎

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キーワード: 19a-Z29-6, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 電気的評価, シリコン, パワー半導体デバイス, 照射欠陥

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