シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅩII) 赤外吸収測定法規格の改訂再開

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z29-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2707

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅩII) 赤外吸収測定法規格の改訂再開

*井上直久, 奥田修一, 川又修一

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キーワード: 19a-Z29-9, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 光学評価, シリコン結晶, 炭素濃度, 赤外吸収

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