酸素負イオン照射によるSn添加In2O3薄膜における縮退／非縮退評価ならびにバンドギャップ自在制御

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z33-2

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

酸素負イオン照射によるSn添加In₂O₃薄膜における縮退／非縮退評価ならびにバンドギャップ自在制御

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