酸素負イオン照射によるSn添加In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の非縮退化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z33-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2936

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

酸素負イオン照射によるSn添加In₂O₃薄膜の非縮退化

*古林寛, 前原誠, 酒見俊之, 北見尚久, 山本哲也

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キーワード: 18a-Z33-1, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 物性評価, 酸化インジウム, 酸素負イオン照射, 光学特性

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