微細ITZO TFTを用いた撮像デバイス用画素回路の試作

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z33-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2942

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

微細ITZO TFTを用いた撮像デバイス用画素回路の試作

*堺俊克, 今村弘毅, 高木友望, 峰尾圭忠, 渡部俊久, 佐藤弘人, 相原聡

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キーワード: 18a-Z33-7, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 電子デバイス, TFT, 撮像デバイス, ITZO

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