水素添加多結晶IGO:H膜による高移動度薄膜トランジスタ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z33-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2943

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

水素添加多結晶IGO:H膜による高移動度薄膜トランジスタ

神寳健太, 田中大貴, 松村俊宏, 片岡大樹, 曲勇作, *古田守, 佐々木大地, 川嶋絵美, 霍間勇輝

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キーワード: 18a-Z33-8, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 電子デバイス, 酸化物半導体, 薄膜トランジスタ, In-Ga-O

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