イオン注入されたアモルファスInGaZnO膜の抵抗値熱安定性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-Z33-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2978

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

イオン注入されたアモルファスInGaZnO膜の抵抗値熱安定性

*安田圭佑, 宇井利昌, 立道潤一

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キーワード: 19p-Z33-5, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 物性評価, InGaZnO, イオン注入, 熱安定性

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