プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (6)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-Z33-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2977

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (6)

*佐野準之助, 佐藤陽平, 井出雄太, 吉田千博, 村中司, 鍋谷暢一, 松本俊

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キーワード: 19p-Z33-4, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 透明導電膜, 酸化亜鉛, 透明導電膜, フレキシブル

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