RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO<sub>3</sub>膜のBAW・SAW特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-Z13-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_390

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO₃膜のBAW・SAW特性

*吉澤宗眞, 鈴木雅視, 垣尾省司, 伊東良晴, 舘山明紀, 舟窪浩, 若林剛, 柴田憲治

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キーワード: 17p-Z13-2, 応用物理学一般, 超音波, 圧電デバイス, 弾性表面波, 基板付き薄膜共振子, RFスパッタリング

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