Pt結晶膜上へのTa<sub>2</sub>O<sub>5</sub>圧電薄膜の成膜と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-Z13-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_391

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

Pt結晶膜上へのTa₂O₅圧電薄膜の成膜と評価

*松浦佳祐, 鈴木雅視, 垣尾省司, 小寺正徳, 船窪浩

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キーワード: 17p-Z13-3, 応用物理学一般, 超音波, 圧電デバイス, 五酸化タンタル, エピタキシャル成長, 弾性表面波

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