ピコ秒レーザー照射を用いたSiC上DLCにおけるレーザー誘起ナノ周期構造の形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z04-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_746

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

ピコ秒レーザー照射を用いたSiC上DLCにおけるレーザー誘起ナノ周期構造の形成

*山本健, 高橋孝, 内海慶春, 柴田明宣, 山口誠, 小林洋平, 富田卓朗

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キーワード: 18a-Z04-4, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 加工基礎・モニタリング・ダイナミクス, レーザー誘起ナノ周期構造

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