応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18a-Z04-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

レーザー誘起気泡を用いたPDMS微細加工技術(microFLIB)のメカニズム解明
*宮原 勇兵, 髙橋 涼平, 花田 修賢
著者情報
キーワード: 18a-Z04-9, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 微細加工, ポンププローブ法, レーザー誘起気泡, 熱硬化性樹脂
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