励起電子への過渡選択的光吸収による合成石英ガラス除去閾値の評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z04-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_752

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

励起電子への過渡選択的光吸収による合成石英ガラス除去閾値の評価

*吉崎れいな, 吉武俊哉, 伊藤佑介, 魏超然, 柴田章広, 長澤郁夫, 長藤圭介, 杉田直彦

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キーワード: 18a-Z04-10, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 微細加工, 超短パルスレーザ, ガラス, 電子励起

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