並列ビーム走査型レーザー加工とガラス表面溝加工への適用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z07-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_771

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

並列ビーム走査型レーザー加工とガラス表面溝加工への適用

*田中智就, 長谷川智士, 早崎芳夫

著者情報

キーワード: 19a-Z07-7, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 微細加工, 溝加工, 空間光変調素子

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2021 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top