スパッタ法におけるBiFeO<sub>3</sub>薄膜の成長機構の検討II

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12a-N301-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1222

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

スパッタ法におけるBiFeO₃薄膜の成長機構の検討II

*菊地理沙, 村瀬幹生, 吉村武, 藤村紀文

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キーワード: 12a-N301-2, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電体・高誘電率薄膜, 強誘電体, BiFeO3, 圧電体

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