塗布法による酸化ガリウム薄膜の作製とその物性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10p-S203-21

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1336

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

塗布法による酸化ガリウム薄膜の作製とその物性評価

*百田明紘, 川野美晴, 芝原拓哉, 大谷直毅

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キーワード: 10p-S203-21, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, ワイドギャップ系、透明材料, 半導体, 酸化ガリウム

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