フェムト秒レーザーの鉛直照射を用いた超高速SEMの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10a-N401-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1556

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

フェムト秒レーザーの鉛直照射を用いた超高速SEMの開発

*江本悠河, 山本祐揮, 嵐田雄介, 岸部義也, 赤田圭史, 吉田昭二, 羽田真毅, 藤田淳一

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キーワード: 10a-N401-9, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子顕微鏡装置・手法の開発, 電子顕微鏡

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