溶液の高感度XPS測定に向けたSi<sub>3</sub>N<sub>4</sub>窓材料のGCIBによる極薄化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10a-N402-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1583

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

溶液の高感度XPS測定に向けたSi₃N₄窓材料のGCIBによる極薄化

*竹内雅耶, 藤原怜輝, 豊田紀章

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キーワード: 10a-N402-5, ビーム応用, イオンビーム一般, イオンビーム加工, クラスターイオンビーム, X線光電子分光, ドライエッチング

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