FBARを用いた高感度小型においセンサモジュールの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-S202-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_209

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

FBARを用いた高感度小型においセンサモジュールの開発

*恩田陽介, 佐藤和紀, 高野貴之, 坂下武, 齋藤彰, 宮﨑正彦, 服部将志, 西原時弘, 伊藤浩之

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キーワード: 13p-S202-2, シンポジウム, センサ融合に向けたセンサ集積技術, においセンサ, 圧電薄膜共振器, 温湿度補償

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