フッ素系シランの電子アシスト蒸着による反射防止膜形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 22p-P04-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_2103

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

フッ素系シランの電子アシスト蒸着による反射防止膜形成

*児嶋宏紀, 臼井博明, 田中邦明

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キーワード: 22p-P04-4, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 作製・構造制御, ドライプロセス（真空蒸着，CVD）, 薄膜, 真空, 有機材料

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