230 nm遠紫外第二高調波発生に向けた横型擬似位相整合HfO<sub>2</sub>/AlN導波路の設計

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12p-N101-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_2933

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

230 nm遠紫外第二高調波発生に向けた横型擬似位相整合HfO₂/AlN導波路の設計

*本田啓人, 梅田颯志, 正直花奈子, 三宅秀人, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二

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キーワード: 12p-N101-7, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光デバイス（紫外）, 紫外, 窒化物半導体, 光デバイス

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