MOVPE法を用いたβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 成長の熱力学解析とその実験的検証

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-S201-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_3340

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

MOVPE法を用いたβ-Ga₂O₃ 成長の熱力学解析とその実験的検証

*後藤健, 田中那実, 西村太郎, 池永和正, 石川真人, 町田英明, 熊谷義直

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キーワード: 13p-S201-8, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 薄膜成長, 酸化ガリウム, 有機金属気相成長法

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