抄録
Bleustein-Gulyaev-Shimizu (BGS)波は、弾性表面波(SAW : surface acoustic wave)の一種であり、横方向に分極された圧電セラミック基板や特定の方位の単結晶基板上を伝搬するSH(share horizontal)型横波成分だけをもつ波である。BGS波は誘電率の大きな基板の自由端面でモード変換せずに完全反射するため、この特徴を利用すれば小型で低損失なデバイスを実現できる。弊社では、製造プロセス、基板材料、設計など多くの課題を解決し、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電セラミック基板を用いた種々の端面反射型BGS波デバイスの開発・実用化に成功した。本講演では、ETC(Electronic Toll Collection System)用に開発したBGS波フィルタを中心に、弊社での取り組み内容とその特徴を報告する。
