応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13p-S201-14
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ミスト CVD 法によるβ-(AlxGa1-x)2O3混晶薄膜成長
*金子 真大堀江 竜斗梶田 優気西中 浩之吉本 昌広
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