第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13p-N105-12
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
メッシュフォノニック構造を用いたテラヘルツMEMSセンサの熱感度の向上
キーワード:
13p-N105-12,
光・フォトニクス,
テラヘルツ全般,
テラへルツ発生・検出 (エレクトロニクス応用), 光伝導アンテナ, 量子カスケードレーザー, 共鳴トンネルダイオード, バックワードダイオード, HEMT, MEMS, 単一電子トランジスタ, グラフェン, カーボンナノチューブ,
MEMSボロメータ,
フォノニック構造,
熱伝導
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