第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13p-N105-11
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 82
開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）
開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23
GaAs両持ち梁MEMS共振器における非線形性の熱調整
キーワード:
13p-N105-11,
光・フォトニクス,
テラヘルツ全般,
テラヘルツ光学素子, 共振器, 導波路, 金属構造, メタマテリアル, プラズモニクス, フォトニック結晶, 液晶, ワイヤーグリッド,
MEMS,
共振器,
テラヘルツ
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