Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>N系薄膜の放射光軟X線顕微光電子分光法による非破壊電子状態分析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 25p-P01-18

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1277

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

Al_xGa_1-xN系薄膜の放射光軟X線顕微光電子分光法による非破壊電子状態分析

*竹澤伸吾, 小濱路生, 張文雄, 吹留博一, 渡邊一世, 井村将隆, 津田俊輔, 小嗣真人, 永村直佳

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キーワード: 25p-P01-18, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 薄膜、界面、ヘテロ構造, ワイドギャップ半導体, 光電子分光

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