透明アンテナ用ITO導電膜のシート抵抗と放射効率の膜厚依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 25p-P01-19

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1278

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

透明アンテナ用ITO導電膜のシート抵抗と放射効率の膜厚依存性

*山田友里, 越地福朗, 安田洋司, 山田勝実, 内田孝幸

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キーワード: 25p-P01-19, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 薄膜、界面、ヘテロ構造, ITO導電膜

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