第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22p-E105-1
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 69
開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）
開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26
電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加
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