応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 25p-E104-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

撥水性と親水性を反復するPTFEプラズマポリマー薄膜
*田口 貢士, 富川 弥奈, 箕浦 皓, 山原 基裕, 登尾 一幸
著者情報
キーワード: 25p-E104-11, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, プラズマポリマー, ポリテトラフルオロエチレン, スパッタ
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