応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 25p-E104-12
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

任意電圧波形励起PECVDによるa-C:H成膜における希ガスの効果の検証
*永松 大樹, 有馬 聡明, 大高 真寛, 山下 大輔, 鎌滝 晋礼, 古閑 一憲, 白谷 正治, 大友 洋, 進藤 崇央, 田中 諭志, 松戸 龍夫
著者情報
キーワード: 25p-E104-12, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, プラズマ CVD
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