第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 25p-E104-14
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 69
開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）
開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26
アセチレンプラズマ中での基板バイアス効果の赤外分光計測
キーワード:
25p-E104-14,
プラズマエレクトロニクス,
プラズマ成膜・エッチング・表面処理,
CVD・PVD・スパッタリング,
アモルファス炭素膜,
アセチレンプラズマ,
多重内部反射赤外吸収分光法
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