Analysis of Width-Dependent Drain Current Variability in Extremely Narrow GAA Silicon Nanowire MOSFETs

The 69th JSAP Spring Meeting 2022

セッションID: 23p-E307-11

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

Analysis of Width-Dependent Drain Current Variability in Extremely Narrow GAA Silicon Nanowire MOSFETs

著者情報

キーワード: 23p-E307-11, variability, nanowire

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