極低温におけるバルクMOSFETランダムばらつきに対するパーコレーションパスの影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 23p-E307-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2364

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

極低温におけるバルクMOSFETランダムばらつきに対するパーコレーションパスの影響

*水谷朋子, 竹内潔, 更屋拓哉, 岡博史, 森貴洋, 小林正治, 平本俊郎

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キーワード: 23p-E307-14, 半導体, デバイス／配線／集積化技術, デバイス動作原理、諸現象, MOSFET, 極低温, ばらつき

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