MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (1) -両性準位のDOS-

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 23p-E307-18

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2368

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (1) -両性準位のDOS-

*土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳

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キーワード: 23p-E307-18, 半導体, デバイス／配線／集積化技術, 信頼性技術、評価測定技術, MOS界面, 両性欠陥, 電子捕獲素過程

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