応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 23p-E307-17
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

極低温（4K）におけるMOS容量評価手法の開発
*宮尾 知寿, 田中 貴久, 内田 建
著者情報
キーワード: 23p-E307-17, 半導体, デバイス／配線／集積化技術, 信頼性技術、評価測定技術, 低温CMOS, キャリア・フリーズアウト, MOS容量
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