第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 25p-P11-7
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 69
開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）
開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26
ALD により成膜したSiO2/Al2O3 2 層絶縁膜を用いたノーマリーオフ型AlGaN/GaN MIS-HEMT の電気特性Ⅱ
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