２インチ Si 基板上 GaAs 系埋込型 pin 接合ナノワイヤの分子線エピタキシャル成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 24a-D316-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2626

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

２インチ Si 基板上 GaAs 系埋込型 pin 接合ナノワイヤの分子線エピタキシャル成長

*峰久恵輔, 橋本英季, 中間海音, 谷川武瑠, 行宗詳規, 石川史太郎

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キーワード: 24a-D316-3, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎, MBE, ナノワイヤ

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