GaN高温HVPE成長のための熱力学解析モデルの修正

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-E202-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2627

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

GaN高温HVPE成長のための熱力学解析モデルの修正

*松岡聖, 坂東もも子, 大西一生, 後藤健, 新田州吾, 村上尚, 熊谷義直

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キーワード: 22a-E202-1, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（HVPE, OVPE）, GaN, HVPE, 熱力学解析

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