Naフラックスポイントシード法におけるGaN結晶品質の種結晶オフ角依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-E202-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2630

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

Naフラックスポイントシード法におけるGaN結晶品質の種結晶オフ角依存性

*鷲田将吾, タンドリーヨリクセン, 中島達彦, 村上航介, 今西正幸, 宇佐美茂佳, 丸山美帆子, 吉村政志, 森勇介

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キーワード: 22a-E202-4, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, バルク成長, 窒化ガリウム, オフ角, Na フラックス法

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